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光行天下 -> Macleod,TFCalc -> AR膜反射率不良時如何調整 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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leehow534	2013-12-13 20:41
AR膜反射率不良時如何調整目前已知的是： w(@r-2D" 1.根據TFC演示，膜厚調整 G(t:s5: 2.如果蒸發(fā)速率過小，就把預熔功率加大些 l@);U%\pS 沒有其他方法了嗎，各位親們？ r K @jn&Wf? 同樣的條件連續(xù)鍍?yōu)槭裁疵看畏瓷渎蕡D形都不一樣咧？ H0Y_H=

fagbit	2013-12-14 10:54
問題不是很清楚，AR膜怎么扯到分光？

leehow534	2013-12-14 12:40
就是反射率圖形老是變來變去

leehow534	2013-12-14 12:42
就是調整反射率圖形規(guī)格內

jack0827	2014-01-08 22:21
確認每次預融的一致性，還有相關的真空度。

李仁鋒	2014-01-09 00:37
你是不是用的310，可能里面設置有問題QQ81398665

245136615	2014-02-17 00:49
晶控？電子槍的功率，光斑的大小是不是變化了，沒有壓控的話，注意真空度是不是有變化

qxb2008

2014-03-19 08:47

這就說明樓主你的鍍膜條件重復性很差啊，如果機臺系數沒弄錯的話。問題可以分兩種情況：一種是鍍膜機的重復性差，一種是膜系敏感層太多。鍍膜機的重復性差要考慮的因素就多了：真空度/溫度/充氧/蒸鍍速率/傘差/蒸發(fā)角度等；膜系的敏感層可以通過二次優(yōu)化進行調整�？傊粋€條件一個條件的去確認，總會找到問題的。
希望能幫到你。

rollo_tomasi	2014-03-31 13:42
真空鍍膜工藝的重復性受到很多因子的影響，需要控制很多的參數和工藝條件!

leehow534	2014-04-01 23:20
氣壓，膜厚，光量比值都沒問題，很奇怪呀。 m[}P 有些膜層同樣的膜厚10幾個NM，監(jiān)控玻璃有時候有極值有時候又沒有，何解？ :{a< ~n` 大多數情況下沒有極值，根本看不出來規(guī)律來

wugujianwgj	2014-10-17 16:06
AR就用晶控控制看看唄。

ouyuu

2014-10-21 09:23

leehow534:氣壓，膜厚，光量比值都沒問題，很奇怪呀。 [r`KoHwdm
有些膜層同樣的膜厚10幾個NM，監(jiān)控玻璃有時候有極值有時候又沒有，何解？ 4r$#-
大多數情況下沒有極值，根本看不出來規(guī)律來 (2014-04-01 23:20) \kQ)fk]^

薄層，特別是二氧化硅薄層，還是用晶控。
另外，看一下光控片有沒有問題，高度是否一致，是否水平放置。
光控片換新的試試，裝之前擦一下。

teddy0586	2014-12-09 21:39
可以考慮換下靶的材料

yzhuang	2015-04-04 10:36
如果是國內的設備，還是晶控比較好，光控最好的還是萊寶

seven_117	2018-04-08 19:26
不懂，還在學習中

johnyu	2018-09-05 13:20
薄層問題 XEiVs\) G FJ84'T\~ 解決方法: E6GubU "\*)KH`C 最簡單就是用石英控控制薄層 IX+Jf? &^ )?[2Y%P 或薄層的鍍率用慢點 $+PioSq x[t?hl=: 去試試看

onlye	2019-01-30 13:11
主要控制膜厚和折射率

opticsrain	2019-04-29 17:07
看變化的大不大吧，如果在機器的誤差范圍之內變化是正常的，如果是連續(xù)的同一機器鍍膜，每次都不一樣，應該是設備出現了不良，EB，膜厚計，離子槍等不良都有可能。

jepatwin	2024-06-22 10:18
膜系敏感層

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