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2014-01-23 16:14 |
晶振片使用說明及注意事項(xiàng)
一﹑晶振片的種類 NoPM!.RU{
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晶振片的電極對(duì)膜厚監(jiān)控至關(guān)重要，目前，市場(chǎng)上提供三種標(biāo)準(zhǔn)電極材料：金、銀和合金。 金是最廣泛使用的傳統(tǒng)材料，它具有低接觸電阻，高化學(xué)溫定性，易于沉積。金最適合于低應(yīng)力材料，如金，銀，銅的膜厚控制。用鍍金晶振片監(jiān)控以上產(chǎn)品，即使頻率飄移1MHz，也沒有負(fù)作用。然而，金電極不易彎曲，會(huì)將應(yīng)力從膜層轉(zhuǎn)移到石英基片上。轉(zhuǎn)移的壓力會(huì)使晶振片跳頻和嚴(yán)重影響質(zhì)量和穩(wěn)定性。 [%b<%m}L-
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銀是接近完美的電極材料，有非常低的接觸電阻和優(yōu)良的塑變性。然而，銀容易硫化，硫化后的銀接觸電阻高，降低晶振片上膜層的牢固性。 BG'gk#J+f
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銀鋁合金晶振片最近推出一種新型電極材料，適合高應(yīng)力膜料的鍍膜監(jiān)控，如Si0，Si02， MgF2，Ti02。這些高應(yīng)力膜層，由于高張力或堆積的引力，經(jīng)常會(huì)使晶振片有不穩(wěn)定，高應(yīng)力會(huì)使基片變形而導(dǎo)致跳頻。 銀鋁合金通過塑變或流變分散應(yīng)力，在張力或應(yīng)力使基體變形前，銀鋁電極已經(jīng)釋放了這些應(yīng)力。這使銀鋁合金晶振片具有更長(zhǎng)時(shí)間，更穩(wěn)定的振動(dòng)。實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)表明鍍Si02用 銀鋁合金晶振片比鍍金壽命長(zhǎng)400%。
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