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2014-02-13 18:59 |
對(duì)于AT切割晶振片，冷卻水溫度一般在20幾度。 ui-]%~
正常流量情況下， _SkiO }c8
冷卻水溫度過低， 則晶振片上膜層應(yīng)力大，不利于鍍厚膜。 i( ;.Y
冷卻水溫度過高，雖可鍍膜厚增加，但晶振片溫度高，導(dǎo)致進(jìn)入較大的溫度頻率效應(yīng)區(qū)域，厚度精度將下降。 L={\U3 __k
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上海膜林科技有限公司的XDM-3K晶控儀能實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)晶振片的損耗，膜層應(yīng)力對(duì)此值影響較大。 `q`ah_
另一方面，XDM-3K有額外付費(fèi)的厚度補(bǔ)償功能，正是為了補(bǔ)償溫度效應(yīng)帶來的厚度計(jì)算偏差。 W>q u~ak?x
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