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2014-03-16 11:01 |
超廣角大工作面f-theta鏡頭的光學設計
摘要:目前國內(nèi)用于激光標刻機的f-theta鏡頭的視場角一般小于60°。采用望遠鏡結構,利用視覺放大率增大視場角,得到了超廣角90°鏡頭。該方法具有簡潔、可靠、易實現(xiàn)等特點。通過初級像差分析,確定系統(tǒng)的初級結構參數(shù),利用ZEMAX軟件優(yōu)化得到了大工作面為Φ285mm的f-theta鏡頭,鏡頭線性畸變誤差值不超過1%,在半徑為698μm的圓內(nèi),能量集中度為80%,聚焦性能接近衍射極限。 {0wIR_dGX {j?FNOJn 關鍵詞:光學設計;超廣角f-theta鏡頭;初級像差理論;激光打標;ZEMAX
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