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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 初學(xué)膜系設(shè)計(jì)，求推薦相關(guān)書籍。 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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雨雪霏霏	2014-06-26 12:31
初學(xué)膜系設(shè)計(jì)，求推薦相關(guān)書籍。求推薦一本比較好的膜系設(shè)計(jì)的書，本人主攻深紫外光刻物鏡中的膜系設(shè)計(jì)。

morningtech

2014-06-27 08:54

1. 可以看看macleod的，<Thin-Film Optical Filters>，網(wǎng)上曾有過第2版原版的pdf. 第1版的，有中文版，周九林、尹樹百譯，網(wǎng)上有 pdf 的�；蚩煽纯凑愦筇�、顧的 <薄膜光學(xué)與技術(shù)>，顧的<光學(xué)薄膜技術(shù)?>。偶早期看到的是后3者。這些都可稱經(jīng)典。
這幾年有新作出來，沒有細(xì)讀。
注意：浙大出版社劉旭、王、易，翻譯<光學(xué)干涉薄膜>不是系統(tǒng)介紹光學(xué)薄膜原理的，而是文集。
因光學(xué)薄膜的基本理論已完善，所以設(shè)計(jì)方面的書經(jīng)典就夠用了。
2. 光學(xué)薄膜的設(shè)計(jì)軟件也已經(jīng)有很多，網(wǎng)上能找到一些。