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rzyp

2014-06-30 20:21

鏡頭畸變與偏心

最近在調(diào)試光刻鏡頭中碰到一個問題，就是光刻物鏡對DMD（數(shù)字為反射鏡）陣列面成像，在調(diào)試過程中發(fā)現(xiàn)鏡頭的畸變已經(jīng)調(diào)的比較好，按道理講DMD像面是沒有形變的，但是實(shí)際發(fā)現(xiàn)即使畸變調(diào)整得很好，還是會出現(xiàn)整個DMD像面的某一個角凸出或者凹下，請問這種情況是由于鏡頭的偏心造成的嗎？還是有其他原因！請教各路高手指點(diǎn)！

yu-xuegang	2014-07-01 12:35
DMD是不是和的光軸不垂直？

948283700	2014-07-01 14:21
打醬油

rzyp	2014-07-09 23:58
yu-xuegang:DMD是不是和的光軸不垂直？ (2014-07-01 12:35) 9b9$GyI cLLbZ=` 一般來說是不垂直的，因為在調(diào)試過程中基本上沒有辦法判斷，但是即使不垂直偏差也不會太大，因為DMD是安裝在機(jī)械加工件上（平面度很好）

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