非球面光學零件的超精密磨削技術(shù)
非球面光學零件廣泛應(yīng)用于航空機載設(shè)備(雷達測距儀)、衛(wèi)星(先進的光學望遠系統(tǒng)、高分辨率的電視攝像系統(tǒng)、高靈敏度的紅外傳感系統(tǒng))、激光制導(dǎo)、紅外探測等領(lǐng)域，同時在民用光電產(chǎn)品上的應(yīng)用更為廣泛． ytJ |jgp '
1非球面光學零件的延性方式磨削技術(shù) !N!M
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1．1延性方式磨削技術(shù) V @8X .R>
最近，短波長光學，特別是 x射線光學領(lǐng)域中的研究活動表明， x射線領(lǐng)域的光學元件多采用非球面，并要求零件的形狀精度達到納米級，表面粗糙度達到埃級，而且越來越多的使用硬脆性材料。這些零件的傳統(tǒng)加工方法是磨削加工后，經(jīng)過研磨、拋光工序，精加工成所需零件，這種方法的生產(chǎn)效率低，加工周期長，不能適應(yīng)現(xiàn)代生產(chǎn)的需要。作為光學零件的加工，一方面要求精度高，加工表面超光滑，另一方面又要求加工表面沒有加工變質(zhì)層。在這種需求下，就產(chǎn)生了硬脆材料的延性方式磨削，成為超精密加工的一個熱點。 F@?QVdY1q7
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