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2014-12-04 11:49 |
鍍膜色斑問題
球面平凸透鏡鍍增透膜，透鏡直徑36mm, 曲率半徑173mm, R<0.5 @1550+/- 40nm， 膜料Ta2O5 + SiO2，烘烤溫度250，成都南光機。 &oU) ,H
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相同的鍍膜參數(shù)， 鍍10批次有1-2批次出現(xiàn)大比例膜層色斑，有時剛鍍完取出沒有色斑放置2天后出現(xiàn)色斑，有時剛鍍完有色斑放置幾天后色斑減淡或消失。 出現(xiàn)色斑批次的光譜曲線和膜層牢固度都正常。 @ )bCh(u
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已排除了基片本身污染，真空腔內(nèi)污染，離子源和膜料問題。 t>
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