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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 窄帶濾光片無規(guī)律漂移現(xiàn)象 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

haisheng_0_0 2015-04-13 10:54

窄帶濾光片無規(guī)律漂移現(xiàn)象

我們用光馳OTFC-1100機(jī)器做的窄帶,用間控光控控制,晶控輔助。SiO2,Ta2O5,材料。要求中心波長在1071nm,半波帶寬20nm。 G#Z%jO-XN  
本來是成熟膜系,已經(jīng)做了有2年時間了,一直很穩(wěn)定, #l-,2C~  
但是最近出現(xiàn)膜系無規(guī)律漂移現(xiàn)象,中心波長或漂移向長波,或短波,漂移距離從4--20nm。 f9D7T|J?10  
本來出現(xiàn)漂移也是正,F(xiàn)象,但是現(xiàn)在是完全無規(guī)律啊,有可能連續(xù)3罩次是沒有變化的,也有可能是每罩次都不一樣。 x}1(okc  
最開始懷疑是單色儀出問題,也就是控制波長不準(zhǔn)確。送廠檢測,用廠家來替換的單色儀做了幾次,還是一樣。 ~sAINV>A  
廠家說可能 是光控托盤有問題,換了一個,還是一樣。 @?K(+BGi  
其后還做了很多工作,都沒有解決問題, sEdWBT 8  
在這里請教各位同行,誰做窄帶,或者用光馳機(jī)器出現(xiàn)這種情況的是什么原因,怎么解決的? m0F-[k3)  
先謝過啦。
dumoty 2015-04-13 13:28
要是蒸鍍過程沒有問題,看下供電穩(wěn)定不,冷卻水是否有問題。我遇到過冷卻水臟了,導(dǎo)致的成膜不穩(wěn)定
haisheng_0_0 2015-04-14 09:02
dumoty:要是蒸鍍過程沒有問題,看下供電穩(wěn)定不,冷卻水是否有問題。我遇到過冷卻水臟了,導(dǎo)致的成膜不穩(wěn)定 (2015-04-13 13:28)  FNmIXpAn*@  
Q6%m}R  
哦?這個倒是沒考慮過,但我們冷卻水是定期換的啊
meron 2015-05-06 19:40
那你的膜料的質(zhì)量怎樣?純度、顆粒度等是不是和原來的那種膜料一樣?
op1163 2015-10-11 00:01
這個原因太多了,你先要確定你鍍膜滴標(biāo)準(zhǔn)要是一致滴,如果你確定你幾沒問題,你可以在沒鍍一傘前把你監(jiān)控片,和監(jiān)控器確認(rèn)一下等,如果有需要可以我愿意和您一起探討解決。
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