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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 關(guān)于ar膜溫飄 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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hyping518	2015-12-26 08:27
關(guān)于ar膜溫飄鍍膜完成后放置兩天。出現(xiàn)溫飄較為嚴(yán)重的現(xiàn)象。除了設(shè)計時移薄還有什么方法解決

yzhuang	2016-01-03 19:41
加離子源，鍍膜基底溫度升高

luffy17520	2016-01-04 14:12
以前基本也遇到過 (zjz]@qJ 然后把要求的余量做大就好了，基本是要求基礎(chǔ)上的+/-30nm左右即可，不關(guān)均勻性或者溫飄情況下都能保證滿足要求啊 jB5>y&+ 控制好鍍膜環(huán)境 X!HDj<

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