| luffy17520 |
2016-01-04 14:38 |
說說自己的經(jīng)驗 關(guān)于算tooling和算材料折射率
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比如sio2 材料 n一般是1.45 !}q."%%J_%
然后3個光學(xué)厚度的話是 180nm 現(xiàn)在電腦里面模擬下3個光學(xué)厚度下的波形，然后鍍180nm厚度的sio2 這個是電腦輸入的值 8]C1K
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然后測試結(jié)果 J@`
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sio2 測試反射比較明顯，測試出來的曲線可以用來做2件事 *V|zx#RN
1.通過測試波形 用其他軟件 可計算你現(xiàn)在鍍膜環(huán)境下的n值，如果偏差不大 可忽略啊 然后只有3個點的n值 算過好多機器和環(huán)境下的sio2的折射率 感覺都差不多 影響不大。 XGIpU z
2.用 模擬結(jié)果的特征峰 跟 測試結(jié)果的特征峰 相除可得到tooling值，這個也是粗略的值 但是用下來還是比較方便簡單的 z!CD6W1n
可多次重復(fù) 得到一個比較可靠的值 8c).8RL
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