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寒夜 2016-03-13 22:44

大口徑高精度斐索干涉儀球面參考鏡設(shè)計

大口徑高精度斐索干涉儀球面參考鏡設(shè)計.PDF，需要的下載！ fMWXo)rzj  
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摘要：設(shè)計了一款口徑為30.48cm高精度斐索激光干涉儀參考鏡， 其犉數(shù)為0.82， 參考面半徑為224.99mm。所設(shè)計的參考鏡其透射波前峰谷值為0.095λ， 均方根值為0.028λ， 透射波前斜率最大值為11μrad 。理論分析了參考鏡的回程誤差對面形檢測精度的影響， 其最大值為0.29nm。 利用Zemax光學(xué)設(shè)計軟件對參考鏡進行了仿真分析， 仿真與實驗結(jié)果表明， 該標(biāo)準(zhǔn)鏡頭可滿足精度1nm的元件面形檢測需求。
200833 2016-03-13 23:18
謝謝提供，下來學(xué)習(xí)一下。
superyu2009 2016-03-14 09:08
謝謝樓主 學(xué)習(xí)一下
zhao6116713 2016-03-14 09:29
看看，學(xué)習(xí)一下
礪劍158 2016-03-14 11:18
看下，學(xué)習(xí)下 [+ %p!T  
hytc42 2016-03-14 14:26
謝謝， }M"-5K}  
參考下
a578981085 2016-03-14 14:49
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)
jsmcu 2016-03-14 15:28
仔細(xì)看看先
measure123 2016-03-14 19:08
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí),謝謝分享
ds1234567 2016-03-14 19:29
謝謝， awB1ryrOF  參考下
7965145 2016-03-15 08:40
謝謝提供，下來學(xué)習(xí)一下
禾苗m 2016-03-15 13:36
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)
jllvbo 2016-03-16 17:36
下來學(xué)習(xí)一下
ywjciomp 2016-03-17 21:15
ds1234567:謝謝， awB1ryrOF  參考下 (2016-03-14 19:29)  $[^ KCNB  
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哥們，想問一下材料折射率的問題，能不能幫個忙
寒門之士 2016-04-22 19:41
謝謝 學(xué)習(xí)一下 tM?I()Y&P  
tooooom 2016-05-02 11:58
thanks w4&v( m