| ttb2016 |
2016-08-12 11:44 |
脈沖激光沉積技術(shù)及其應(yīng)用
脈沖激光沉積技術(shù)及其應(yīng)用摘要： q
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薄膜材料已在微電子元件、超導(dǎo)材料、生物材料等方面得到廣泛應(yīng)用 ,為了得到高質(zhì)量的薄膜材料 ,脈沖激光沉積技術(shù)受到了廣泛的關(guān)注。介紹了脈沖激光沉積技術(shù)的原理、特點(diǎn) ,綜述了其在制備半導(dǎo)體、高溫超導(dǎo)、類金剛石、鐵電、生物陶瓷薄膜等方面的應(yīng)用和研究現(xiàn)狀 ,展望了該項(xiàng)技術(shù)的應(yīng)用前景。 k<*v6
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