ttb2016 |
2017-06-02 23:07 |
光學自由曲面面形檢測技術
光學自由曲面因其表面自由度較大,可以針對性地提供或矯正不同的軸上或軸外像差,同時滿足現代光學系統(tǒng)高性能、輕量化和微型化的要求,逐漸成為現代光學工程領域的熱點。自由曲面的檢測技術已經成為制約其應用的最重要因素,而目前精密光學自由曲面的檢測手段仍然沿用非球面檢測方法。本文回顧了近年來的自由曲面檢測發(fā)展歷程,對目前主流的非接觸式檢測方法(微透鏡陣列法,結構光三維檢測法,相干層析術,干涉檢測法)進行了重點介紹;總結了非球面檢測方法運用到自由曲面檢測中的技術難點,同時結合這些技術難點,展望了自由曲面檢測的未來發(fā)展新趨勢,主要集中在非旋轉對稱像差的動態(tài)補償、分區(qū)域像差的回程誤差校準及子孔徑拼接技術。
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