大直徑平凸透鏡面形的陰影檢驗法
本文分析了使用樣板檢測大口徑平凸透鏡的弊端，細述了用刀口儀檢測大直徑凸面透鏡的相關計算方法和操作過程，并用實例加以證明。 n >eIQaV
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光學檢測中刀口儀在對球面光學元件的檢測一般局限于對凹反射鏡的面形及曲率進行檢驗，對于凸透鏡的面形檢驗一般利用光學樣板進行判定，但光學零件樣板的最大直徑為130mm，對于直徑在140mm以上的平凸透鏡進行檢驗有一定局限性降低了檢驗精度，如圖1所示。其次用樣板直接接觸元件表面容易對光學元件表面造成破壞，此時如果借助于一些大型的光學檢測儀器，例如 zygo 干涉儀，利用此類大型儀器的優(yōu)勢在于檢測的結果精密，光學元件的檢測結果可以量化，但是由于zygo干涉儀的價格昂貴，體積較為龐大，且對周圍的檢測環(huán)境要求較高，種種因素大幅提高光學檢測的成本，在這種情況之下我們提出利用便于攜帶、價格低廉的刀口儀對凸透鏡反射面面形與元件內(nèi)部材料均勻性進行的檢測。本文基于以上幾點對用刀儀對凸透鏡的內(nèi)反射檢驗進行了詳細闡述。 JPpYT~4
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