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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 離子源加速電流是否越大越好 [點此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

奔跑的小駿馬 2017-12-01 09:41

離子源加速電流是否越大越好

現(xiàn)在使用的離子源存在兩個問題： X K>&$<5{  
1、加速電流非常不穩(wěn)定，突變比較大，數(shù)量在10mA以內(nèi)波動；是否跟離子源工作狀態(tài)的穩(wěn)定性有關(guān)？ 3/goCg  
2、加速電流設(shè)置不知道多少數(shù)值為佳？ F^kwdS  
有沒有懂得，指點一二。 LSd*| 3E}n  
rexchou 2017-12-01 10:06
是不是設(shè)定在最大輸出功率 的60~80%，會不會是比較妥當(dāng)?shù)膥 HKmcQM  
GJQc!cqk  
加速電流我不清楚能不能設(shè)定，參數(shù)那邊我只知道可以設(shè)定加速電壓
ouyuu 2017-12-01 17:22
10mA很小了。光馳基本上是100mA的變化。 ($!KzxF3  
加速電流變化一般是氣體流量的問題，氣體流量是受真空壓力變化波動的。 <94G  
而真空壓力波動的原因很大一部分是受電子槍蒸發(fā)的影響。 {aj/HFLNY  
z&+ zl6  
一般RF源出廠時候做分布都是最高電壓最大電流為基準(zhǔn)的。 =@r--E  
所以最大電流分布是最好的。但是電流大了電壓高了， s#-eN)1R  
溫度也就高了，膜系的應(yīng)力會受影響。 TI9X.E?  
可能會產(chǎn)生脫膜，變形等問題。
奔跑的小駿馬 2017-12-02 08:02
rexchou:是不是設(shè)定在最大輸出功率 的60~80%，會不會是比較妥當(dāng)?shù)膥 l\Ftr_Dk