從1964年第一臺(tái)CO2激光器出現(xiàn)到現(xiàn)在，經(jīng)過近四十年的發(fā)展，從封離式CO2激光器、慢速軸流CO2激光器、橫流CO2激光器，到高頻羅茲泵型快速軸流、射頻turbo型快速軸流以至目前出現(xiàn)的擴(kuò)散型Slab　CO2激光器的發(fā)展中可以看到,一方面激光輸出功率不斷提高，體積不斷縮小，另一方面激光器的效率不斷提高，光束質(zhì)量越來越好。擴(kuò)散型Slab CO2激光器光束橫截面上光強(qiáng)分布接近高斯分布（如圖2），具有極好的光束質(zhì)量，在加大的激光加工工作區(qū)焦點(diǎn)的漂移很小，非常有利于大范圍激光傳輸與聚集，這對(duì)大尺寸工件的切割應(yīng)用非常重要。
工業(yè)用固體YAG激光器也經(jīng)歷了從小功率燈泵浦（棒狀）、燈泵浦（板條）、雙燈泵浦（多棒）到光纖泵浦（棒狀）、半導(dǎo)體泵浦（棒狀）和片狀固體激光器的過程。由于受工作物質(zhì)熱物理性質(zhì)的制約，YAG激光光束質(zhì)量模式相對(duì)較差。如何提高光束質(zhì)量和激光功率，仍是YAG激光器面臨的主要問題。
值得注意的是近年來發(fā)展起來的半導(dǎo)體激光器。半導(dǎo)體激光器具有小型化、頻率極高、與光纖良好耦合、易于調(diào)制等優(yōu)良特性，因而具有廣闊的應(yīng)用前景。
要在不同產(chǎn)業(yè)中廣泛應(yīng)用激光制造技術(shù)，很大程度上要依賴于激光加工系統(tǒng)的性能與工藝。歐、美、日一些國家在新光源、加工系統(tǒng)及工藝等方面的研究與開發(fā)就從未降溫過。隨著激光工作物質(zhì)的研究與開發(fā)、器件與單元技術(shù)的改進(jìn)和創(chuàng)新，以高性能、寬波段、大功率為特征的激光取得了蓬勃的發(fā)展，如紫外光輸出的KrF、ArF準(zhǔn)分子激光器、倍頻激光器等。尤其是高功率光纖激光的出現(xiàn)，使激光制造的移動(dòng)式定位加工變得更加便利。
2 激光制造技術(shù)應(yīng)用
激光制造技術(shù)與傳統(tǒng)的制造技術(shù)相比，其突出的優(yōu)勢(shì)主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：
（1）特種材料特殊要求的加工
激光焊接與大多數(shù)傳統(tǒng)的焊接方法相比具有突出的優(yōu)點(diǎn)。激光能量的高度集中和加熱、冷卻過程的極其迅速，可破壞一些難熔金屬表面的應(yīng)力閾值，或使高導(dǎo)熱系數(shù)和高熔點(diǎn)金屬快速熔化，完成某些特種金屬或合金材料的焊接，而且在激光焊接過程中無機(jī)械接觸，容易保證焊接部位不因熱壓縮而變形，還排除了無關(guān)物質(zhì)落入焊接部位的可能；如果采用大焦深的激光系統(tǒng)，還可實(shí)現(xiàn)特殊場(chǎng)合下的焊接，比如，由軟件控制的需隔離的遠(yuǎn)距離在線焊接、高精密防污染的真空環(huán)境焊接等；在不發(fā)生材料表面蒸發(fā)的情況下可熔化最大數(shù)量的物質(zhì)，達(dá)到高質(zhì)量的焊接。以上特點(diǎn)是傳統(tǒng)的焊接工具與方法很難或完全不能做到的。目前，在汽車、國防、航空航天等一些特殊行業(yè)，已普遍采用激光焊接技術(shù)2。例如歐洲一些國家，對(duì)高檔汽車車殼與底座、飛機(jī)機(jī)翼、航天器機(jī)身等一些特種材料的焊接，激光的應(yīng)用已基本取代了傳統(tǒng)的焊接工具和方法。
（2）特殊精度的加工制造