3 激光微制造將成為新世紀高新技術產業(yè)的主流技術
諾貝爾物理學獎獲得者Richard　Feynman早在50年代末就曾預言，制造技術將沿著從大到小的途徑發(fā)展，即用大機器制造出小機器，用這種小機器又能制造出更小的機器，并由此在微小尺度領域制造出一代代的批量加工工具。科學技術的革命證實了Feynman的預言。微電子技術的出現(xiàn)就是最有說服力的例子，從集成到大規(guī)模集成到超大規(guī)模集成技術的迅猛發(fā)展中，已經顯示出未來的制造技術必將沿著“越來越小”的方向進軍。20世紀把電子技術的主要功能高度集成在一起，形成了世紀標志的高技術產業(yè)，并滲透到人類活動的各個領域。21世紀則是多門學科的集成技術，即把微電子、微光學、微機械以及傳感器、執(zhí)行器的信號處理單元集成在一起的微納制造和微系統(tǒng)技術。微納制造技術與功能微系統(tǒng)將成為21世紀高新技術與產業(yè)的里程碑，其發(fā)展將使人類在認識和改造自然的能力上達到一個新的高度，導致人類生活和社會物質文明及科學技術的巨大變革。
美國在80年代末就意識到微納制造技術與微系統(tǒng)研究的緊迫性，強調美國“應該在這樣一個新的重要技術領域與其他國家的競爭中走在前面”，并啟動了第一個研究計劃。進入90年代后，日本也開始實施為期10年、總投資為250億日元的“微型機械技術”大型研究開發(fā)計劃。為尋求適應微系統(tǒng)制造的三維結構精細微加工的技術途徑，歐共體組織了德國漢諾威激光中心和法國、瑞士、意大利等國的相關科研機構，進行合作開發(fā)研究。目前在微納制造技術上已經形成國際性競爭，已經開始新世紀高技術產業(yè)全球市場的爭奪戰(zhàn)。
目前的研究進展也已經顯示，激光微技術是有發(fā)展?jié)摿Φ娜�維微制造技術，將可能成為微系統(tǒng)制造的主流技術之一。德國國家教研部從2002年開始，出臺了為期五年的光學資助計劃，其中重要的一項內容就是激光微制造技術的研究。該計劃僅2002年的資金投入就是0.478億歐元，后續(xù)幾年的投入按一定比例遞增。德國采取分解式的單元技術研究，在光的微制造與微納技術的硬件方面，五年研究規(guī)劃的目標定位在新的激光光源和超精細聚焦系統(tǒng)上，達到150～0.1nm光譜范圍的超紫外輸出和能越過衍射極限、分辨率小于100nm的高重復性近場透鏡。
微納光制造及其相關技術，是當前國際競爭的主要領域，微電子產業(yè)的規(guī)模和技術水平已成為衡量一個國家綜合實力的重要標志之一，激光微技術將在這個領域發(fā)揮更大作用。我國在現(xiàn)代光制造發(fā)展方面，機遇與挑戰(zhàn)并存，我們要抓住機遇，迎接新世紀光制造時代的到來。