摘要：對現(xiàn)有的激光鉆孔盲孔板板流程進(jìn)行分析，提出改善激光盲孔對位精度方法并進(jìn)行實驗及分析。
關(guān)鍵詞：激光鉆孔 盲孔 對位 定位標(biāo)靶
一、現(xiàn)狀
隨著板件向小型化及高密度方向發(fā)展，越來越多的板件采用埋盲孔方式來實現(xiàn)高密度互連，激光鉆孔是實現(xiàn)微小盲孔的方法之一。激烈的市場競爭對于板件的可靠性也提出越來越高的要求，對于盲孔來說高的可靠性要求有大面積的良好連接，激光盲孔良好的對位精度是一個關(guān)鍵因素。首先需說明激光鉆盲孔精度要求有兩個：即激光孔與內(nèi)層焊盤和外層焊盤之間的對位精度。
我公司現(xiàn)有的影響激光鉆孔盲孔板件對位精度的流程為：
1、利用通孔的鉆孔標(biāo)靶定位鉆出定位孔；
2、由定位孔定位通過激光孔點菲林做出外層激光窗和激光鉆孔定位標(biāo)靶；
3、激光鉆機(jī)尋找激光鉆孔定位標(biāo)靶，然后鉆激光盲孔；
4、外層圖形轉(zhuǎn)移做出盲孔外層焊盤。
二、分析
1、各流程可能存在的產(chǎn)生誤差原因：
（1）鉆定位孔
A、X光機(jī)本身系統(tǒng)誤差；
B、板件不平，造成沖標(biāo)靶沖不準(zhǔn)；
C、上鉆孔管們釘不緊；
D、鉆機(jī)本身系統(tǒng)誤差；
E、鉆頭固定不牢；
F、板件不平，膠帶貼不緊。
（2）做激光窗：
A、激光孔點菲林變形；
B、激光孔點菲林對位不準(zhǔn)。
（3）激光鉆孔：
A、激光鉆孔機(jī)本身系統(tǒng)誤差；
B、板件不平造成讀不準(zhǔn)；
C、板件夾不緊。
（4）外層圖形轉(zhuǎn)移：
A、菲林變形；
B、菲林對位不準(zhǔn)。
可以看出，以上影響激光鉆盲孔對們精度的大部分原因都是操作問題，可以通過嚴(yán)格操作來改善。除了操作之外就是系統(tǒng)誤差及定位方式，改善系統(tǒng)誤差成本過高，幫應(yīng)將重點放在定位方式的改進(jìn)上。
2定位方式的分析：
現(xiàn)有的定位方式是用通孔的標(biāo)靶鉆定位孔，然后由此類定位孔定位做激光窗口及激光定位標(biāo)靶于外層，激光鉆機(jī)讀取外層激光定位標(biāo)靶位置后鉆孔。