光刻透鏡面數(shù)多、性能高（RMS波差需要比較�。�，這個(gè)專利的設(shè)計(jì)者使用了4個(gè)非球面。最高階是14階，要求系統(tǒng)的畸變小于0.03%，對于非球面斜面極限偏離量（aspheric slope departure limits）則沒有要求。

我們把專利中的所有非球面先變?yōu)榍蛎�，再使用非球面專家宏工具尋找最佳非球面位置�?/p>

下圖就是專利中非球面的位置和非球面專家宏工具計(jì)算出來的位置對比：

非球面專家宏工具的計(jì)算結(jié)果和專利不同，上面的S3、S16、S34、S39是專利中的非球面，下面的S1、S12、S17、S44是我們宏的計(jì)算結(jié)果。

我們再來對比一下設(shè)計(jì)的性能：

非球面專家宏工具結(jié)果好呢還是專利中的結(jié)果好呢？看起來宏工具的結(jié)果要好一點(diǎn)點(diǎn)。而非球面專家宏工具得到這個(gè)結(jié)果，一共才計(jì)算了不到1分鐘的時(shí)間！

我們還可以考慮對非球面斜面極限偏離量進(jìn)行控制，以保證非球面可以直接被干涉儀測試。