光學(xué)讀出紅外探測器的像素結(jié)構(gòu)一般包括：錨、支撐梁(包括雙材料梁和隔熱梁)和可動微鏡。錨站立于襯底之上，可動微鏡通過支撐梁與錨相聯(lián)接，并懸浮于襯底之上。雙材料梁一般由兩種熱膨脹系數(shù)相差較大的材料構(gòu)成，如由金屬材料和介質(zhì)材料構(gòu)成；隔熱梁由熱導(dǎo)系數(shù)較小的材料構(gòu)成；可動微鏡部分一般包括可見光反射層和紅外吸收層。 

目前的光學(xué)讀出紅外探測器，一般基于硅襯底進行器件結(jié)構(gòu)和工藝設(shè)計，其制作方法可以分為兩類： 

圖1.基于表面微機械加工技術(shù)制作的光學(xué)讀出紅外探測器

一類是采用表面微機械加工技術(shù)制作(如圖1所示)，以硅為襯底，以氧化硅、磷硅玻璃、多晶硅為犧牲層，一般采用濕法腐蝕釋放像素結(jié)構(gòu)。由于不需要去除襯底硅，器件的機械強度好，像素之間沒有熱串?dāng)_；由于犧牲層厚度只有幾微米，采用這種方法制作的光學(xué)讀出紅外探測器陣列釋放后的像素很容易和硅襯底發(fā)生粘連，另外紅外輻射需要透過硅襯底才能入射到像素結(jié)構(gòu)中的紅外吸收層上，而硅在8-14μm波長范圍內(nèi)的紅外透過率大約為50%左右，也就是說這類器件的紅外輻射利用率一般在50%左右。

圖2.基于體硅微機械工藝制作的光學(xué)讀出紅外探測器