光學讀出紅外探測器的像素結構一般包括：錨、支撐梁(包括雙材料梁和隔熱梁)和可動微鏡。錨站立于襯底之上，可動微鏡通過支撐梁與錨相聯(lián)接，并懸浮于襯底之上。雙材料梁一般由兩種熱膨脹系數(shù)相差較大的材料構成，如由金屬材料和介質材料構成；隔熱梁由熱導系數(shù)較小的材料構成；可動微鏡部分一般包括可見光反射層和紅外吸收層。 

目前的光學讀出紅外探測器，一般基于硅襯底進行器件結構和工藝設計，其制作方法可以分為兩類： 

圖1.基于表面微機械加工技術制作的光學讀出紅外探測器

一類是采用表面微機械加工技術制作(如圖1所示)，以硅為襯底，以氧化硅、磷硅玻璃、多晶硅為犧牲層，一般采用濕法腐蝕釋放像素結構。由于不需要去除襯底硅，器件的機械強度好，像素之間沒有熱串擾；由于犧牲層厚度只有幾微米，采用這種方法制作的光學讀出紅外探測器陣列釋放后的像素很容易和硅襯底發(fā)生粘連，另外紅外輻射需要透過硅襯底才能入射到像素結構中的紅外吸收層上，而硅在8-14μm波長范圍內的紅外透過率大約為50%左右，也就是說這類器件的紅外輻射利用率一般在50%左右。

圖2.基于體硅微機械工藝制作的光學讀出紅外探測器