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  • 消除平場掃描鏡F-Theta后反射點的不利影響

    作者:南京光研 來源:投稿 時間:2017-10-11 15:17 閱讀:4352 [投稿]
    激光掃描系統(tǒng)是一種將時間信息轉(zhuǎn)變?yōu)榭捎涗浛諉栃畔⒌南到y(tǒng)。它使某種信息通過光調(diào)制器對激光束調(diào)制后,經(jīng)光束掃描器和F-Theta激光聚焦鏡頭再接收形成一維或二維掃描圖像。

    激光掃描系統(tǒng)是一種將時間信息轉(zhuǎn)變?yōu)榭捎涗浛諉栃畔⒌南到y(tǒng)。它使某種信息通過光調(diào)制器對激光束調(diào)制后,經(jīng)光束掃描器和F-Theta激光聚焦鏡頭再接收形成一維或二維掃描圖像。它已被廣泛用于標刻機、導彈跟蹤瞄準、激光打印機、傳真機、集成電路激光圖形發(fā)生器等激光掃描精密設備中。

    激光打標是激光技術的一個重要的應用領域,它與傳統(tǒng)的刻蝕、機刻等打標方式相比,有許多優(yōu)點,如無污染、分辨率高、非接觸及標記永久保持等。激光束到達工件表面的瞬間,光能轉(zhuǎn)換為熱能,使工件表面材料熔融甚至汽化,從而標刻出相應的圖案或標記。

    激光打標機的工作原理如圖1所示,激光器發(fā)出的高能量激光束依次經(jīng)過動方向互相垂直的X和Y掃描振鏡,入射到F-Theta物鏡,由F-Theta后到達工件表面。通過轉(zhuǎn)動X和Y掃描振鏡,可以控制激光束在工件表面的X和Y兩個方向上任意移動,實現(xiàn)矢量打標。振鏡式激光打標具有響應速度快、打標速度快、打標質(zhì)量高等許多優(yōu)點。


    圖1.激光打標機工作原理圖

    與普通成像物鏡不同,F(xiàn)-Theta鏡頭的像高與視場角成正比。如圖2所示鏡頭的視場角、焦距和像高滿足下式所示的關系:y=f*θ

    式中θ、f、y分別表示F-Theta鏡頭的視場角、焦距和像高。表示當F-Theta焦距一定時,像高y與視場角θ成正比,滿足線性關系。


    圖2.F-Theta鏡頭原理圖

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