幾何圖像分析(Geometric Image Analysis)

只限于對低分辨率的.IMA和.bim格式的位圖進行幾何計算（不考慮衍射效應）。該功能可以計算任意面上的圖像，相比之下基于卷積計算的圖像模擬功能只能在像面上計算。同樣，由于幾何圖像分析基于光線追跡，該功能可以用于計算系統(tǒng)效率以及多模光纖耦合。在評價函數(shù)編輯器中使用操作數(shù)IMAE可以將系統(tǒng)效率作為目標進行優(yōu)化。

幾何位圖圖像分析(Geometric Bitmap Image Analysis)

由于可以將.bmp和.jpg格式的圖片作為光源位圖經(jīng)光學系統(tǒng)進行成像，因此和圖像模擬比較相近。通常來講，圖像模擬得到高信噪比的結果要比幾何位圖圖像分析的速度快很多。對于幾何位圖圖像分析來說，圖像信噪比與SQRT(n)成正比，其中n為每個像素追跡光線的條數(shù)。

圖像模擬分析欠采樣的PSF時存在一定誤差。當PSF嚴重欠采樣時，PSF網(wǎng)格上每個點都看起來像一個δ函數(shù)，這意味著基于卷積的方法計算得到的結果在這種欠采樣情況下會比實際情況好。幾何位圖圖像分析則可作為非常實用的檢查方法對分析結果進行復查。而且?guī)缀挝粓D圖像分析可以應用于任意一個面上，例如遠離焦平面的地方。

部分相干圖像分析(Partially Coherent Image Analysis)

在早期的版本中名為衍射成像分析。如果使用衍射極限系統(tǒng)對非相干的位圖進行成像，則圖像模擬功能要好于該功能。然而部分相干圖像分析功能可以分析相干光源。在實際應用中，相干光源分析對于光刻機系統(tǒng)非常重要。

擴展圖像分析(Extended Diffraction Image Analysis)

在非相干光源時該功能可以完全由圖像模擬代替。但擴展圖像分析允許擴展光源進行相干成像，并且允許光源位圖中的每個像素代表一個δ函數(shù)。該功能非常適合用于擴展光源圖像包含點光源的情況（例如星星）。