研究團(tuán)隊(duì)同時(shí)提出一種與成像性能直接相關(guān)的光學(xué)元件品質(zhì)的精確評(píng)價(jià)函數(shù)RWE，替代傳統(tǒng)的RMS或PV值來評(píng)價(jià)光學(xué)元件的品質(zhì)，并對(duì)一系列的具有不同面形誤差的元件進(jìn)行了品質(zhì)評(píng)價(jià)（圖3）。結(jié)果表明，具有相同PV或者RMS值的元件品質(zhì)是不同的，幾何精度較低的元件可能比幾何精度較高的元件產(chǎn)生更好的成像質(zhì)量。RMS相同的光學(xué)元件也可以通過RWE區(qū)分它們成像質(zhì)量的高低。對(duì)制造檢測方而言，無需設(shè)計(jì)文件就可以獨(dú)立地對(duì)制造后的元件品質(zhì)進(jìn)行評(píng)估。RWE有助于快速挑選出符合成像要求的元件，并給出不同元件之間的最佳匹配組合。

圖4. 具有相同的PV或者RMS值的元件品質(zhì)不同

該研究提出的局域公差框架將為光學(xué)系統(tǒng)的制造，特別是為光刻系統(tǒng)和太空望遠(yuǎn)鏡等高精度、大口徑的光學(xué)系統(tǒng)制造提供新的技術(shù)支撐，并將對(duì)光學(xué)設(shè)計(jì)和制造領(lǐng)域的理論、技術(shù)和標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)生變革性的影響。

9月8日，上述成果以“光學(xué)曲面的局域面形公差和品質(zhì)評(píng)價(jià)”（Local tolerance and quality evaluation for optical surfaces）為題發(fā)表在《光學(xué)》（OPTICA）期刊上。

朱鈞為本文的通訊作者。精儀系2017級(jí)博士生鄧玉婷和2020級(jí)博士生譚益林為本文的共同第一作者，2014級(jí)已畢業(yè)碩士吳曉飛是本文的共同作者。該研究得到國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目的資助。

論文鏈接：https://opg.optica.org/optica/fulltext.cfm?uri=optica-9-9-1039&id=499461