TMC STACIS 主動壓電振動消除產(chǎn)品系列的新一代產(chǎn)品——SEM-Base VI 。 3`ov?T(H  
SEM-Base VI 設(shè)計用于承載所有商業(yè)掃描電子顯微鏡(SEMs)、多數(shù)聚焦離子束顯微鏡(FIB)及小型雙光束設(shè)備。 58x=CN\QU  
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優(yōu)勢： BDW%cs  
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硬式裝載技術(shù) |sf&t  
SEM-Base VI 兼容 SEM 內(nèi)部預(yù)裝的任何隔振系統(tǒng)，從0.6Hz開始 -)biSU,  
主動強力消減地面低頻振動。 -L;sv0  
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主動慣性振動消除 _*d8:|qw  
SEM-Base VI 采用高靈敏度的低頻慣性速度傳感器，即使在安靜的 oyQp"'|N  
地面上也可以達到高水平的振動衰減。 MP5 vc5[  
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串行設(shè)計與壓電技術(shù) +!dWQ=W  
獨特串行設(shè)計加上高強度壓電專利技術(shù)，SEM-Base VI 不但達到了寬至0.6Hz-150Hz 的主動帶寬，更實現(xiàn)了無與倫比的慣性主動振動消除，2Hz以上的振動衰減可達90%以上。 =Q#} ,T  
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完全集成式的單平臺設(shè)計 muMb pF  
SEM-Base VI 設(shè)計與制造的集成化，將安裝平臺的工作簡化到了極致，簡單的定位與設(shè)置之后即可正常工作。 m+y5
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森泉（上海）光電科技有限公司 xign!=  
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