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    [討論]材料N值和K值 [復(fù)制鏈接]

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    離線oprs999
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2018-02-23
    求各位大神指點(diǎn)迷津 K=|x"6\  
    Q)eYJP=W  
    怎么才可以獲取正確的材料N值和K值 ,CiN@T \&  
    $10"lM[  
    我現(xiàn)在的方法是鍍一個(gè)5k的膜，然后先測(cè)裸片監(jiān)控片的反射率，再測(cè)鍍膜后的監(jiān)控片反射率，導(dǎo)入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光譜還是和實(shí)測(cè)的光譜不一樣，這里面的原因是啥？ )}QtK+Rq  
    IC&>PwXb  
    我的想法是機(jī)臺(tái)鍍膜隨著時(shí)間的推移每一層的膜N和K都不一樣。 G9'Wo.$ t  
    @=CN#D12  
    前題是我是用晶控去控制，不是光控。
     
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    離線洋洋0109
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2018-05-11
    我夜想知道！
    離線huangweipeng
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2018-05-16
    同求�。。。�！
    離線ruby6843
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2018-05-27
    我是用穿透量測(cè)(吸收考量) 3zC<k2B  
    鍍5Q膜厚 ~kHWh8\b:  
    先以macleod求出基板N與K Uwj|To&QR  
    再求出藥材N與K IIj :\?r  
    離線js2700
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2018-06-14
    同求TFC計(jì)算  Tooling值的方法  
    離線knight627
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2018-08-06
    這個(gè) 可以探討,特別誤差在金屬上面例如TI等,誤差很大,真實(shí)的n和k導(dǎo)出來(lái)!我覺得主要根電子槍關(guān)系大,
    離線johnyu
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2018-08-13
    5k?unit是什麼?5000nm? s:/Wz39SY3  
    K=K]R01/o  
    你設(shè)定厚度與實(shí)際厚度的誤差是多少? A>9I E(C_  
    ^55q~DP}>  
    你用石英監(jiān)控當(dāng)然不一定會(huì)那麼準(zhǔn)阿?那也不會(huì)說誤差到找不到 WALK@0E  
    bJ!(co6t  
    另外你石英監(jiān)控的頻率是多少?新的大概6MHZ <>shx;g^C  
    TxA%{0  
    再來(lái) /#Gm`BT  
    )B$Uo,1  
    你的材料是什麼?介電質(zhì)材料?金屬? Pl/B#Sbf'  
    |U:VkiKt  
    有吸收的材料你用MACLEOD是算不準(zhǔn)的 xofxE4.  
    zE8qU;  
    說到這邊其實(shí)還是要確定你的手法 ;;>G}pG