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    [分享]真空鍍膜知識 [復(fù)制鏈接]

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    離線yixiangren
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2006-12-12
    　　所謂真空鍍膜就是置待鍍材料和被鍍基板于真空室內(nèi)，采用一定方法加熱待鍍材料，使之蒸發(fā)或升華，并飛行濺射到被鍍基板表面凝聚成膜的工藝。在真空條件下成膜可減少蒸發(fā)材料的原子、分子在飛向基板過程中于分子的碰撞，減少氣體中的活性分子和蒸發(fā)源材料間的化學反應(yīng)（如氧化等），以及減少成膜過程中氣體分子進入薄膜中成為雜質(zhì)的量，從而提供膜層的致密度、純度、沉積速率和與基板的附著力。通常真空蒸鍍要求成膜室內(nèi)壓力等于或低于10-2Pa，對于蒸發(fā)源與基板距離較遠和薄膜質(zhì)量要求很高的場合，則要求壓力更低。
     
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    離線feishiff
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2006-12-13
    o ,這樣，可以在介紹詳細點嗎？
    離線seraphic
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2006-12-16
    可以貼一些專業(yè)文章嗎？這樣太籠統(tǒng)了
    離線yin2006
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2006-12-16
    摟主有沒有詳細介紹的書籍呀？
    離線yixiangren
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2006-12-16
    有，可惜沒有電子版的。
    離線penguiyun
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2006-12-29
    該主題已被管理員屏蔽!
    離線yixiangren
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2006-12-30
    寫的比較詳細，謝謝！
    離線心靈元素
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2007-01-03
    寫的比較詳細，謝謝！
    離線aaoe
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2007-01-23
    很詳細的東西，謝謝了．
    離線starofage
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2007-01-23
    多謝�。。。。。。。。。。。。。。。。。。�！