[分享]真空鍍膜知識(shí) [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2006-12-12

　　所謂真空鍍膜就是置待鍍材料和被鍍基板于真空室內(nèi)，采用一定方法加熱待鍍材料，使之蒸發(fā)或升華，并飛行濺射到被鍍基板表面凝聚成膜的工藝。在真空條件下成膜可減少蒸發(fā)材料的原子、分子在飛向基板過(guò)程中于分子的碰撞，減少氣體中的活性分子和蒸發(fā)源材料間的化學(xué)反應(yīng)（如氧化等），以及減少成膜過(guò)程中氣體分子進(jìn)入薄膜中成為雜質(zhì)的量，從而提供膜層的致密度、純度、沉積速率和與基板的附著力。通常真空蒸鍍要求成膜室內(nèi)壓力等于或低于10-2Pa，對(duì)于蒸發(fā)源與基板距離較遠(yuǎn)和薄膜質(zhì)量要求很高的場(chǎng)合，則要求壓力更低。

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離線feishiff

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2006-12-13

o ,這樣，可以在介紹詳細(xì)點(diǎn)嗎？

離線seraphic

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2006-12-16

可以貼一些專業(yè)文章嗎？這樣太籠統(tǒng)了

離線yin2006

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2006-12-16

摟主有沒(méi)有詳細(xì)介紹的書(shū)籍呀？

離線yixiangren

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2006-12-16

有，可惜沒(méi)有電子版的。

離線penguiyun

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2006-12-29

該主題已被管理員屏蔽!

離線yixiangren

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2006-12-30

寫的比較詳細(xì)，謝謝！

離線心靈元素

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只看該作者 7樓發(fā)表于: 2007-01-03

寫的比較詳細(xì)，謝謝！

離線aaoe

助理工程師

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只看該作者 8樓發(fā)表于: 2007-01-23

很詳細(xì)的東西，謝謝了．

離線starofage

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只看該作者 9樓發(fā)表于: 2007-01-23

多謝！�。。。。。。。。。。。。。。。。。�！