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    [轉(zhuǎn)載]不同輪廓亞波長光柵的成像 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2018-04-10
    1. 摘要 [~)x<=H8{  
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    亞光波長光柵在用傍軸光照射時僅產(chǎn)生一個衍射級，因此在這種情況下不會形成圖像。 為了克服此問題，可以使用非傍軸照明。在本例中，高NA聚光透鏡被用來為不同輪廓的光柵提供高聚焦照明，衍射場被另一個高NA物鏡收集。 VirtualLab可以模擬這種成像過程，包括用傅立葉模態(tài)法精確模擬亞波長光柵。 #A )Ab%r8"  
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    2. ·建模任務(wù) #)]E8=}  
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    3. 結(jié)果 $w/E9EJ)3A  
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    4. 文件和技術(shù)信息 8k H<$9  
     
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