1. 摘要 })f 4`$qf hD TiXc 亞光
波長(zhǎng)光柵在用傍軸光照射時(shí)僅產(chǎn)生一個(gè)
衍射級(jí)，因此在這種情況下不會(huì)形成
圖像。 為了克服此問(wèn)題，可以使用非傍軸
照明。在本例中，高NA聚光
透鏡被用來(lái)為不同輪廓的光柵提供高聚焦照明，衍射場(chǎng)被另一個(gè)高NA物鏡收集。 VirtualLab可以
模擬這種
成像過(guò)程，包括用傅立葉模態(tài)法精確模擬亞波長(zhǎng)光柵。
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