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    [轉(zhuǎn)載]不同輪廓亞波長光柵的成像 [復(fù)制鏈接]

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    離線訊技david
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2018-04-10
    1. 摘要 B*3Y !!  
    1P(&J  
    亞光波長光柵在用傍軸光照射時僅產(chǎn)生一個衍射級,因此在這種情況下不會形成圖像。 為了克服此問題,可以使用非傍軸照明。在本例中,高NA聚光透鏡被用來為不同輪廓的光柵提供高聚焦照明,衍射場被另一個高NA物鏡收集。 VirtualLab可以模擬這種成像過程,包括用傅立葉模態(tài)法精確模擬亞波長光柵。 rsXq- Pq*  
    )]htm&q5  
    2. ·建模任務(wù) n, i'Dhzk  
    .@