最近在鍍膜機(jī)上新裝了一臺(tái)晶振測(cè)膜儀，Inficon 074-186S XTM2 OM。總共用了2次，出現(xiàn)同樣的問(wèn)題，在開(kāi)始鍍膜的1分鐘內(nèi)，運(yùn)作正常，顯示屏顯示鍍膜的速率和膜厚，但不超過(guò)1分鐘，顯示屏上就會(huì)出現(xiàn)晶振片錯(cuò)誤的信息（crystall fail），同時(shí)真空室中晶振片的蓋子通過(guò)氣動(dòng)自動(dòng)蓋上。如果我再?gòu)男聠��?dòng)一下膜厚儀，又可以工作，大概也還是1分鐘左右的時(shí)間，又會(huì)出現(xiàn)象上面同樣的錯(cuò)誤，真的不知道問(wèn)題出在哪里？？？ VMtR4!