摘要
Wq5}LO) tCGx]\ 系統(tǒng)性地研究
參數(shù)變化對于復(fù)雜
光學系統(tǒng)的評估是很重要的。 VirtualLab Fusion通過所謂的參數(shù)掃描
功能實現(xiàn)參數(shù)的變化。 通過使用參數(shù)掃描,該變化可以任意配置,具體取決于分析任務(wù)的需求。 此外,特殊的可
編程模式允許自由配置,以提供完全可定制的參數(shù)變化。 在示例中,呈現(xiàn)了該可編程模式的應(yīng)用。
Y3(MKq /3SEu(d! o,c}L9nvt y06**f) 參數(shù)掃描初始化
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KD IvY3iRq6 5~jz| T}s 參數(shù)選擇和變化范圍
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]{n •在第二頁上,必須選擇參數(shù)運行的模式。
oaPWeM+ •在下表中,可以選擇變化的所需參數(shù),以及相應(yīng)的范圍和變化步驟數(shù)量。
4KR` •在此示例中,矩形
光柵的周期和高度被設(shè)置為變量。
ISK 8t l:JVt`A4? (jj`}Qe3U G `!A#As 參數(shù)掃描的定制
Aaq%'07ihW ]d7A|)q •接下來,基本的C#代碼可以幫助配置所選參數(shù)的變化。
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#]qY •例如,周期線性變化,而高度隨機設(shè)置。
w%iwxo 8zlvzp e`LkCy[_ o 7tUv"Rs •在下一頁上,配置的參數(shù)掃描迭代次數(shù)為顯示如下。
zaLPPm&f YVgH[-`, BN%cX2j S1Od&v[R 參數(shù)掃描的設(shè)置
GK1nGdT] #Y=b7|l •接下來,對于參數(shù)掃描的所有模式,所需的
模擬引擎和/或分析儀必須被選擇。
E0fMFG^P •在此示例中,僅使用光柵級次分析儀。
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