摘要
<LH6my JcYY*p 系統(tǒng)性地研究
參數(shù)變化對(duì)于復(fù)雜
光學(xué)系統(tǒng)的評(píng)估是很重要的。 VirtualLab Fusion通過(guò)所謂的參數(shù)掃描
功能實(shí)現(xiàn)參數(shù)的變化。 通過(guò)使用參數(shù)掃描,該變化可以任意配置,具體取決于分析任務(wù)的需求。 此外,特殊的可
編程模式允許自由配置,以提供完全可定制的參數(shù)變化。 在示例中,呈現(xiàn)了該可編程模式的應(yīng)用。
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VXZYRr3F 00IW9B- 參數(shù)掃描初始化
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I-8I/RRkmP +cXi|Zf 參數(shù)選擇和變化范圍
,#BD/dF ]6^S:K_" •在第二頁(yè)上,必須選擇參數(shù)運(yùn)行的模式。
2?LPr •在下表中,可以選擇變化的所需參數(shù),以及相應(yīng)的范圍和變化步驟數(shù)量。
E3p$^['vx •在此示例中,矩形
光柵的周期和高度被設(shè)置為變量。
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