中國集成電路制造年會近日邀請到了光刻機霸主ASML（阿斯麥）中國區(qū)總裁沈波參加，他出面解答了一些媒體關(guān)心的話題。盡管UMC（聯(lián)電）和Globalfoundries（格羅方德，格芯）先后宣布放棄7nm制程及更先進工藝的研發(fā)，但ASML依然對EUV光刻機的前景表示樂觀。 *H"aOT^{  
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