2018年11月29日，由中國科學院光電技術研究所承擔的國家重大科研裝備研制項目“超分辨光刻裝備研制”順利通過驗收。驗收專家組由中國科學院理化技術研究院許祖彥院士擔任組長。該項目組結(jié)合實際應用需求，通過技術的延伸，實現(xiàn)了系列化的超分辨光刻裝備研制，解決了多種微納功能材料和器件的加工難題，并實現(xiàn)了相關器件的制造，相關器件已在多家科研院所和高校的重大研究任務中取得應用。 kS
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