摘要：光斑質(zhì)量直接影響激光位移傳感器測量的精度。為了提高激光位移傳感器傳感探頭光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量，設(shè)計(jì)了傳感探頭四片式微小型光學(xué)系統(tǒng)。本文在理想成像基礎(chǔ)上，分析光束在光學(xué)系統(tǒng)中能量傳遞的變化規(guī)律，對(duì)比光電探測器的感光能力，利用光學(xué)設(shè)計(jì)軟件（ZEMAX）實(shí)現(xiàn)了激光位移傳感器傳感探頭微小型光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。通過理論計(jì)算分析，嚴(yán)格控制傳感探頭孔徑光闌的大小，對(duì)光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行優(yōu)化處理，成像最大彌散斑半徑低于3.3 μm，空間分辨率120 lp/mm以下的傳遞函數(shù)MTF （Modulation Transfer Function）值大于0.5，光線扇形圖的最大像差小于5 μm，畸變量低于0.1859%。該光學(xué)系統(tǒng)具有良好的成像效果，可以滿足激光位移傳感器探測系統(tǒng)對(duì)成像系統(tǒng)成像光斑質(zhì)量的要求，以保證傳感器的測量精確度優(yōu)于5 μm。 t >P[Yld"
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關(guān)鍵詞 ： 微小型光學(xué)系統(tǒng), ZEMAX, 光斑質(zhì)量
