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GLAD中光刻成像系統(tǒng)的建模
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發(fā)表于: 2019-03-15
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GLAD
成像
建模
概述
X1o^MMpz(F
LME&qKe5
該
系統(tǒng)
由一個聚光鏡、一個傾斜球體和一個Schwartzchild設(shè)計(jì)的中繼鏡組成。
光源
被
成像
到中繼鏡的光瞳中。
光束
在物體掩模處會聚,在中繼
透鏡
的光瞳處形成點(diǎn)像。在中繼透鏡的瞳孔處,多條條紋圖案將形成一個中心波瓣和側(cè)波瓣。如下圖所示:
\E<Qi3W>*
=QbOvIq
圖片:1-1Z315164G03P.png
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