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    [求助]為什么我做的增透膜去清洗后就脫膜？ [復(fù)制鏈接]

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    離線ychm1002
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2007-01-30
    我用的是SiO2/JBM1/TiO2/SiO2  基底溫度是２５０度 :7K cD\fCj  
    前幾天我的基底溫度是２６０度，但不脫膜～～１０度應(yīng)該不會至于脫膜吧 u> XCE|D*  
    希望各位高手指教　謝謝�。�！
     
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    離線zmc326
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2007-03-23
    兄弟：增透膜的蒸鍍溫度一般都是300度左右呀，你的溫度這么低，不脫才怪呢。
    離線nolla68
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2007-03-24
    那有很多關(guān)係,其中基板的清潔是相當(dāng)重要的,另外鍍膜時的真空(gas in)及其他的因素都會導(dǎo)致脫膜
    離線wangxingyu
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2007-04-08
    看看離子源有沒有問題
    離線wolfliu
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2007-04-09
    學(xué)到了知識呀，論壇就是好哇
    離線lgciom
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2007-04-09
    如果基底實際溫度達到了250，一般增透膜的溫度已經(jīng)夠了。脫膜的因素很多，先看看返不返油吧
    離線gp11
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2007-04-22
    加溫的時間夠不夠，玻璃尺寸大的話最好到300度，持續(xù)1個半小時
    離線清洗小卒
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2007-05-08
    清洗力度不夠也會造成脫膜，不過還是和鍍膜時的溫度有很大的關(guān)系
    離線jojo_g
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2007-05-16
    脫膜。。。增透 基地溫度要在250度以上  基地清潔度要高！
    離線dede
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2012-02-16
    JBM1是什么？ j\SvfZ0"  
    可能是返油了，或者真空度不好 J+IkTqw