學(xué)到了知識呀，論壇就是好

溫度三百度? 沒用IAD嗎?

如果250度是標(biāo)定過的溫度，脫膜有可能：1 表面清潔不好；2，返油，真空度不好；3，鍍制速率；4，膜層應(yīng)力不匹配。 bJ_rU35s>  
檢驗?zāi)さ睦喂潭龋阂话悴潦眉纯�；按�?biāo)準(zhǔn)，則需用膠帶粘拉。 )5b_>Uy  

學(xué)到了知識呀，論壇就是好哇

離子源清洗，和倉體潔凈度

溫度應(yīng)該夠了，看看你的材料參數(shù)有沒有問題！估計你是沒有離子源的設(shè)備，所以不考慮離子源問題！

yangyangyang:看來大家用的油擴散泵比較多，怪不得一爐要那么久。 ?6*\M  
如果我和你們說我現(xiàn)在一爐40分鐘，你們誰信，哈哈。 1?)h-aN  
你的問題在于以下幾點： .Od@i$E>&  
1，腔室的潔凈做好沒有？ <>KQ8:  
2，離子源的轟擊時間多少？ uLv  
....... (2014-06-17 20:01)  ipu~T)
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40分鐘一爐，看做什么膜系吧。我用日本昭和的機器，雙面AR，全部鍍完，56分鐘。

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