摘要
/NB|N*}O) 當(dāng)用近軸光
照明時，亞
波長光柵僅產(chǎn)生一個
衍射級，因此在這種情況下無法成圖像。為了克服這一問題，可以使用非傍軸照明。如在此示例中，采用高NA聚光
透鏡來為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明，并且該衍射場將由另一個高NA物鏡采集。VirtualLab可以
模擬這樣的
成像過程，包括使用傅立葉模態(tài)法對亞波長光柵進行嚴(yán)格模擬。
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,R .T 1. 建模任務(wù)
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