摘要 ZhoV,/\+  
當用近軸光照明時，亞波長光柵僅產(chǎn)生一個衍射級，因此在這種情況下無法成圖像。為了克服這一問題，可以使用非傍軸照明。如在此示例中，采用高NA聚光透鏡來為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明，并且該衍射場將由另一個高NA物鏡采集。VirtualLab可以模擬這樣的成像過程，包括使用傅立葉模態(tài)法對亞波長光柵進行嚴格模擬。 Z4rk$K'=1w  
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圖片:1-1Z412150ZLR.png

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1. 建模任務 5[4nFa}R:5  
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圖片:1-1Z41215093DW.png

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2. 結果 6`20  
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圖片:1-1Z41215101G13.png

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圖片:1-1Z412151041B4.png

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3. 文件和技術信息 $;'M8L  
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圖片:1-1Z4121511045C.png

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