摘要
@te} Asv 當(dāng)用近軸光
照明時(shí)，亞
波長(zhǎng)光柵僅產(chǎn)生一個(gè)
衍射級(jí)，因此在這種情況下無(wú)法成圖像。為了克服這一問(wèn)題，可以使用非傍軸照明。如在此示例中，采用高NA聚光
透鏡來(lái)為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明，并且該衍射場(chǎng)將由另一個(gè)高NA物鏡采集。VirtualLab可以
模擬這樣的
成像過(guò)程，包括使用傅立葉模態(tài)法對(duì)亞波長(zhǎng)光柵進(jìn)行嚴(yán)格模擬。
k<o<!
>;s2V_ d 
6hFs{P7 hig t(u 1. 建模任務(wù)
UU#$Kt*frR ,yfJjV*I 
&Ci_wDJ -H 5-6w$ 2. 結(jié)果
o
7 V&HJ[ {D]I[7f8Ev 
Sx_j `Cgy 4i29nq^n 
'Rv.6>xqc
sBE@{w% 3.
文件和技術(shù)信息
1 "1ElH mm
| * 
I
wu^@ 9q^7%b, （來(lái)源：訊技光電）
