摘自User's Manual 10.3.1.3節(jié)
s1{[{L3 波前方差是像質(zhì)的有用度量，VARIANCE命令可以計(jì)算方差、
標(biāo)準(zhǔn)偏差、X和Y中的圖像點(diǎn)。后兩個(gè)量給出了參考球面中心的位置，在該位置方差被最小化，如果該分析是多色的，從所請(qǐng)求的色差或主色差的主要
光線點(diǎn)測(cè)量。這是對(duì)
衍射圖樣的峰值位置的一個(gè)有用的近似，只要OPD誤差小于一個(gè)
波長(zhǎng)。對(duì)于畸變非常重要的
透鏡，比如顯微光刻
物鏡，我們希望控制這個(gè)位置，而不是僅僅控制主光線截距的位置——這是校正畸變的一個(gè)更常見(jiàn)的目標(biāo)。本節(jié)描述的
像差允許我們這樣做。格式是:
h20Hg|
M TAR WT A { ICOL /P / M } WVAR HBAR GBAR NRYS
kymn)Ea M TAR WT A { ICOL /P / M } WSTD HBAR GBAR NRYS
H/^B.5RYE> M TAR WT A { ICOL /P / M } YIP HBAR GBAR NRYS
A?DB#-z.r M TAR WT A { ICOL /P / M } XIP HBAR GBAR NRYS
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M TAR WT A { ICOL /P / M } IPX HBAR GBAR NRYS
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