摘自User's Manual 10.3.1.3節(jié)
0jjtx'F 波前方差是像質(zhì)的有用度量，VARIANCE命令可以計(jì)算方差、
標(biāo)準(zhǔn)偏差、X和Y中的圖像點(diǎn)。后兩個(gè)量給出了參考球面中心的位置，在該位置方差被最小化，如果該分析是多色的，從所請(qǐng)求的色差或主色差的主要
光線點(diǎn)測量。這是對(duì)
衍射圖樣的峰值位置的一個(gè)有用的近似，只要OPD誤差小于一個(gè)
波長。對(duì)于畸變非常重要的
透鏡，比如顯微光刻
物鏡，我們希望控制這個(gè)位置，而不是僅僅控制主光線截距的位置——這是校正畸變的一個(gè)更常見的目標(biāo)。本節(jié)描述的
像差允許我們這樣做。格式是:
ysp`(n = M TAR WT A { ICOL /P / M } WVAR HBAR GBAR NRYS
t8xXGWk0 M TAR WT A { ICOL /P / M } WSTD HBAR GBAR NRYS
NT5' U M TAR WT A { ICOL /P / M } YIP HBAR GBAR NRYS
02*qf:kTnA M TAR WT A { ICOL /P / M } XIP HBAR GBAR NRYS
0{8L^
jB/ M TAR WT A { ICOL /P / M } IPX HBAR GBAR NRYS
gOW8 !\V M TAR WT A { ICOL /P / M } IPY HBAR GBAR NRYS
vW
