摘要：將基于微光機(jī)電系統(tǒng)的微鏡陣列與傾斜反射鏡相結(jié)合，構(gòu)建應(yīng)用于中紅外波段的微型化便攜式 傅里葉變換光譜儀．在闡述了該光譜儀工作原理的基礎(chǔ)上，通過對(duì)微鏡衍射特性分析，提出了信號(hào)采集 系統(tǒng)光路設(shè)計(jì)要求，并結(jié)合ZEMAX軟件進(jìn)行了光學(xué)設(shè)計(jì)與仿真，結(jié)果表明：在2.5~3.5μm波長范圍 內(nèi)，保證微鏡選通列與非選通列間反射光互不干擾的情況下，本文所設(shè)計(jì)的信號(hào)采集系統(tǒng)可將80%以 上的干涉信號(hào)會(huì)聚到5mmx5mm的單點(diǎn)探測器中。 26nwUNak
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關(guān)鍵詞：微光機(jī)電系統(tǒng)；中紅外；傅里葉變換；光學(xué)設(shè)計(jì)
