摘要:將基于微光機(jī)電系統(tǒng)的微鏡陣列與傾斜反射鏡相結(jié)合,構(gòu)建應(yīng)用于中紅外波段的微型化便攜式 傅里葉變換光譜儀.在闡述了該光譜儀工作原理的基礎(chǔ)上,通過(guò)對(duì)微鏡衍射特性分析,提出了信號(hào)采集 系統(tǒng)光路設(shè)計(jì)要求,并結(jié)合ZEMAX軟件進(jìn)行了光學(xué)設(shè)計(jì)與仿真,結(jié)果表明:在2.5~3.5μm波長(zhǎng)范圍 內(nèi),保證微鏡選通列與非選通列間反射光互不干擾的情況下,本文所設(shè)計(jì)的信號(hào)采集系統(tǒng)可將80%以 上的干涉信號(hào)會(huì)聚到5mmx5mm的單點(diǎn)探測(cè)器中。 9[t-W:3c7
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關(guān)鍵詞:微光機(jī)電系統(tǒng);中紅外;傅里葉變換;光學(xué)設(shè)計(jì)