摘要:將基于微光機電系統(tǒng)的微鏡陣列與傾斜反射鏡相結合,構建應用于中紅外波段的微型化便攜式 傅里葉變換光譜儀.在闡述了該光譜儀工作原理的基礎上,通過對微鏡衍射特性分析,提出了信號采集 系統(tǒng)光路設計要求,并結合ZEMAX軟件進行了光學設計與仿真,結果表明:在2.5~3.5μm波長范圍 內,保證微鏡選通列與非選通列間反射光互不干擾的情況下,本文所設計的信號采集系統(tǒng)可將80%以 上的干涉信號會聚到5mmx5mm的單點探測器中。 i@2?5U>h
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關鍵詞:微光機電系統(tǒng);中紅外;傅里葉變換;光學設計