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[分享]鍍膜元件低頻面形參數(shù)的有限元模擬及分析方法 [復制鏈接]

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離線ka2012

技術專家

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2019-06-19

關鍵詞：鍍膜有限元

摘要：利用有限元法對基片鍍膜引起的變形量進行了模擬，通過數(shù)據(jù)轉換將模擬結果輸入Metropro 8.3.5面形處理軟件，得到了低頻面形參數(shù)變化量。對比模擬結果與實測結果，發(fā)現(xiàn)兩者非常接近。利用該方法實現(xiàn)了形狀復雜、口徑較大鍍膜基片面形參數(shù)變化量指標的預估，使得鍍膜元件面形主動量化控制成為可能。

關鍵詞：薄膜，低頻面形參數(shù)，有限元模擬，大口徑基片

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