摘要：利用有限元法對(duì)基片鍍膜引起的變形量進(jìn)行了模擬，通過數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換將模擬結(jié)果輸入Metropro 8.3.5面形處理軟件，得到了低頻面形參數(shù)變化量。對(duì)比模擬結(jié)果與實(shí)測(cè)結(jié)果，發(fā)現(xiàn)兩者非常接近。利用該方法實(shí)現(xiàn)了形狀復(fù)雜、口徑較大鍍膜基片面形參數(shù)變化量指標(biāo)的預(yù)估，使得鍍膜元件面形主動(dòng)量化控制成為可能。 l1l=
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